6单温区CVD真空管式炉

炉体结构

• 双层壳体，循环风冷. 
• 炉体表面温度< 70 ºC
• 采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，环保节能

工作电压

AC 220V

功率

8KW

炉管规格

• 6" O.D x  40" 长
•  标配内包含一只石英管, 多余的管子可单独订购 (点击下图查看)
  

加热元件

NiCrAl 电阻丝

工作温度

• 工作温度: 400 -1100°C
• 升降温速率: 10°C/min(max)

加热区

• 加热区总长:    600mm (24'')
• 恒温区长度: 中心200mm (精度±1°C)
• 在800℃时炉膛温度分布曲线( 点击下图查看)    
  

控温仪

• 采用30段可编程PID数字温度控制器
• 设有一个额外的温度校准检测系统
• 双K型热电偶测温.
• 温控精度: ±1°C
• 软件接口、模块和PC机不在标配内需额外订购
• 可选: PC接口和软件
  

密封法兰和进气接口

• 不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到  (机械泵：10-2 torr、分子泵：10-4 torr).  真空泵不包含在内
•  右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF40真空接口.   ( 如需对炉膛温度进行校准请订购36" 长 x 1/4"dia  K 型热电偶)
• 包括两个高纯氧化铝或石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射
• 

产品尺寸

炉体:  1000L x 680W x 920 H  mm

净重

250Kg

保修期

整机保修一年，相关耗材除外。（如密封圈、炉管等）

质量认证

   Certificate